Acona LE Mini在线液体颗粒计数器
Acona LE Mini 面向 POU（Point of Use）在线场景，针对 CMP slurry（研磨液） 等高价值工艺液的颗粒风险控制需求，提高过滤器的利用率，提高过滤器的使用寿命，减少宕机时间。 基于 SPOS单颗粒计数原理，提供可用于过程控制的颗粒趋势与阈值统计结果。
在 CMP 工艺中，LPC（Large Particle Count，大颗粒数量） 常用于表征尾端大颗粒风险。 LE Mini 支持在过滤前/过滤后/输送末端等关键节点进行在线监测，为过滤优化、异常预警与放行决策提供数据支撑。
【适用对象与场景】
- CMP slurry 生产商：出厂质量控制、批间一致性、储存/混配过程监控。
- SDS（Slurry Delivery System）集成商：输送系统在线质量监测、报警联动、维护窗口优化。
- 晶圆厂 CMP 产线：POU 端放行前监测、过滤器更换（filter changeouts）评估、异常追溯。
【POU 在线部署建议】
POU 的目标不是“做一次检测”，而是让数据直接服务于过程控制。典型部署点位包括：
- 过滤前：建立来料与混配后基线，识别上游波动对 LPC 的影响。
- 过滤后：验证过滤效果与过滤器状态，形成更换前后的特征曲线。
- SDS 输送末端（Tool 端）：监控输送链路对尾端大颗粒（LPC）的影响，捕捉末端异常。
【核心技术与系统设计】
1）SPOS 单颗粒计数
采用 SPOS（光阻/光消减）逐颗粒计数机制，输出可用于过程控制的粒径分布与阈值统计结果， 面向 CMP slurry 的尾端大颗粒风险（LPC）提供可量化的数据依据。
2）在线稳定性设计
面向在线连续或定时采样使用需求，可按工况选配稳流、回压、脱泡、保护过滤与冲洗等组件， 用于降低气泡/波动对趋势数据的影响，并提升长期运行的可维护性与可重复性。
3）模块化旁路流路
旁路取样—检测—回流/排放路径可配置，便于匹配不同现场管路与工艺窗口。对于高价值 slurry， 在不改变主流程的前提下完成在线颗粒监测与风险前移。
4）集成与联动
提供通讯与报警接口（按配置），用于对接 SDS 系统或上位机，实现在线数据归档、超限预警与维护事件关联分析。
产品参数
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检测原理 |
基于单颗粒光学传感器技术的光阻法 (SPOS) + 光散射法 |
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测量范围 |
0.5 - 400 μm |
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通道数量 |
1024 个标准通道（支持任意自定义通道） |
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精度 |
1 μm PSL标准粒子粒径平均值±10% |
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最小样本量 |
10 mL |
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稀释系统 |
自动稀释系统 |
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样品浓度限值 |
1011 个/mL |
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电源要求 |
3相电源插座（IEC C14插座）、100至240VAC最大功率5安培 |
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压缩空气或气体要求 |
1/4’’push on、3.5至5.6 kg/cm2、50至80 psi |
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进水要求 |
1/4’’flare、1.8 to 2.5 kg/cm2、25至35 psi |
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进样要求 |
1/4’’flare、0.2 to 2.1 kg/cm2、3至30 psi |
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排液 |
1/4’’flare、零压力排放 |
常见问题 | FAQ
Q1：POU 在线监测适合放在哪些位置？
A：通常部署在过滤前/过滤后、混配后、SDS 输送末端（Tool 端）等 POU 节点，用于在线观察 CMP slurry 的 LPC 趋势与阈值统计。
Q2：CMP slurry 的 LPC 指什么？
A：LPC（Large Particle Count）通常指超过某一阈值粒径的大颗粒数量（如 >0.5 μm、>1 μm、>5 μm 等，按内控定义）。 在 CMP 工艺中，LPC 的异常上升常与划痕风险、过滤状态与输送工况相关。
Q3：在线数据可以用于什么决策？
A：用于过滤器更换（filter changeouts）优化、SDS 工况调整、异常批次隔离、以及 POU 放行判定的趋势依据。
