新闻资讯
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光起科技获评 GPM-3「优秀设备奖」
上海光起科技有限公司在 GPM-3 2026高端研磨抛光材料大会暨半导体与光学材料超精密加工论坛期间获评“优秀设备奖”。公司将持续围绕 CMP 浆料 LPC 大颗粒监测、液体颗粒检测与粒度分析等方向完善产品能力。
넶147 2026-05-18
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喜迎国庆|光起科技祝您2026年国庆节快乐!
盛世华诞,举国同庆。值此中华人民共和国成立77周年之际,上海光起科技有限公司向广大客户、合作伙伴及全体员工致以节日问候,祝愿祖国繁荣昌盛,祝大家国庆快乐、阖家幸福!
넶25 2026-09-29
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光起科技亮相2026湾芯展,展示Acona半导体液体颗粒检测方案
光起科技携Acona液体颗粒检测解决方案亮相2026湾芯展,围绕CMP浆料LPC、光刻胶大颗粒检测及过滤效果评价,展示从实验室分析到LE mini在线颗粒监测的应用方案。
넶0 2026-10-19
关于我们
上海光起科技有限公司(简称光起科技),致力于“为客户提供更高效、更精准的颗粒表征方案”,核心业务涵盖“自研粒度仪研发销售”、“技术服务”、“售后维护”三大板块。我们深耕颗粒检测领域,结合各行业的需求,凭借专业的技术实力和丰富的实战经验,为客户提供从产品到服务的“一站式、全方位”颗粒检测解决方案。
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单粒子光学传感技术
SPOS技术结合了光阻效应和光散射理论,将颗粒计数的下限推进至0.5um,相较于传统光阻法的1.8um下限,大幅提升了颗粒检测的精度。不仅满足了更严苛的质量标准,也为精密制造中的环境杂质控制提供了有力保障。
应用案例
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滤液中 >0.5 μm 颗粒更少,滤芯就选它?
两组 CMP 浆料过滤数据表明:不同粒径阈值可能给出不同的滤芯排序,过滤前后的降幅也因阈值而异。结合工艺需求选择阈值,并用 Acona 系列衔接高、低浓度样品的颗粒检测。
넶39 2026-09-18
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CMP浆料LPC大颗粒计数与PSD尾端风险控制
CMP浆料质量控制不能只看D50、D90等主体粒径指标。本文介绍LPC大颗粒计数的意义、风险来源、过滤验证、POU端监控,以及SPOS单颗粒光学计数在PSD尾端风险控制中的应用。
넶187 2026-06-03
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乳剂佐剂中>1.2 μm大油滴怎么测?Acona A7000 APS的应用思路
在部分角鲨烯水包油乳剂佐剂的公开工艺资料中,>1.2 μm油滴数浓度被作为一项独立的过程表征指标。本文结合WO2011067669A2及MF59相关资料,说明这一指标能够回答哪些工艺问题,以及Acona A7000 APS如何通过自动稀释与单颗粒光学传感,将低丰度大油滴转化为可计数、可比较和可追踪的数据。
넶49 2026-09-10
