攻克半导体 CMP 抛光液与制药大乳粒&不溶性微粒检测难题

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洞察微观品质,捕捉每一颗微粒

  • 单粒子光学传感技术

    SPOS技术结合了光阻效应和光散射理论,将颗粒计数的下限推进至0.5um,相较于传统光阻法的1.8um下限,大幅提升了颗粒检测的精度。不仅满足了更严苛的质量标准,也为精密制造中的环境杂质控制提供了有力保障。