邀请函 | 光起科技将亮相2026湾芯展,展示半导体液体颗粒检测方案

2026年10月14—16日,上海光起科技有限公司将参加在深圳会展中心(福田)举办的2026湾区半导体产业生态博览会(湾芯展)。光起科技将围绕CMP抛光液(Slurry)、光刻胶等半导体材料的颗粒检测需求,展示Acona系列检测方案,欢迎行业客户与合作伙伴莅临1号馆1S18展位交流。

 

聚焦半导体材料中的大颗粒检测

在CMP浆料来料检验、过滤评价及使用点监控等环节,低丰度大颗粒是需要关注的质量指标。光起科技基于单颗粒光学传感(SPOS)技术,提供大颗粒计数(LPC)、粒径分布(PSD)分析及在线颗粒监测方案,帮助客户比较不同批次、过滤前后及工艺过程中的颗粒变化。

 

针对不同样品浓度和检测场景,Acona系列可提供自动稀释、离线取样分析与在线监测等配置。本次展会交流将重点围绕CMP浆料大颗粒分析、光刻胶颗粒检测、过滤效果评价及在线颗粒趋势监测展开,结合客户的样品特性与工艺需求,探讨合适的检测方法和设备配置。

 

展会信息

展会名称:2026湾区半导体产业生态博览会(湾芯展)
展会时间:2026年10月14—16日
展会地点:深圳会展中心(福田)
光起科技展位:1号馆1S18

 

欢迎CMP浆料、光刻胶、过滤器及晶圆制造领域的客户与合作伙伴到展位交流。光起科技期待与您讨论实际检测中的问题,共同探索适合研发、质量控制与过程监测的液体颗粒检测方案。

创建时间:2026-10-13
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