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液体过滤效率测试
过滤（Filtration）是从流体中去除颗粒的过程。本应用说明聚焦于从液体中去除固体颗粒。液体颗粒计数仪的一个常见用途，是评估过滤器在不同粒径范围内的去除效率。典型应用包括：
1.滤器上游/下游对比测试
2.实验室对过滤后液体的颗粒检测
3.终端（POU, Point of Use）在线监测
Acona A7000系列液体颗粒计数系统可用于以上三类场景，并在多行业得到广泛应用。넶287 2025-12-31
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化学成分与环境对 CMP 浆料的影响：稳定性与尾部颗粒
化学机械抛光（CMP）是高密度集的成电路制造中的关键步骤之一。由于 CMP 浆料通常在工艺的多个环节中短时使用，因此在整个生产过程中会被频繁搬运，同时暴露于各种不同的环境条件。新制备的浆料通常由浓缩液稀释而来，并在储存过程中经历温度、湿度及搬运操作的影响。这些因素都会影响浆料的稳定性，从而进一步影响晶圆的制程良率。
넶285 2025-12-01
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CMP浆料LPC大颗粒计数与PSD尾端风险控制
CMP浆料质量控制不能只看D50、D90等主体粒径指标。本文介绍LPC大颗粒计数的意义、风险来源、过滤验证、POU端监控，以及SPOS单颗粒光学计数在PSD尾端风险控制中的应用。
넶187 2026-06-03
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新滤芯上机前：冲洗液里的颗粒，你测过吗？
新滤芯预冲洗后，出液中还有多少颗粒？本文介绍冲洗液颗粒检测在冲洗方案验证、滤器批次比较和异常排查中的应用，说明取样条件、结果判断要点及Acona SIS的检测用途。
넶57 2026-09-16
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滤液中 ＞0.5 μm 颗粒更少，滤芯就选它？
两组 CMP 浆料过滤数据表明：不同粒径阈值可能给出不同的滤芯排序，过滤前后的降幅也因阈值而异。结合工艺需求选择阈值，并用 Acona 系列衔接高、低浓度样品的颗粒检测。
넶39 2026-09-18
