光起科技亮相2026湾芯展，展示Acona半导体液体颗粒检测方案

2026年10月14日至16日，湾区半导体产业生态博览会（简称“湾芯展”）在深圳会展中心（福田）举行。上海光起科技有限公司携 Acona 液体颗粒检测解决方案参展，围绕 CMP 浆料、光刻胶及过滤工艺中的颗粒检测需求，展示从实验室分析到在线监测的产品与应用方案。

本次参展，光起科技重点呈现了单颗粒光学传感技术（SPOS）在半导体材料大颗粒检测中的应用。通过逐颗粒检测与计数，Acona 可提供不同粒径阈值下的颗粒数量与分布数据，为材料评价、过滤效果比较和过程监控提供参考。

CMP 浆料：关注低丰度大颗粒与过滤前后变化

在 CMP 浆料应用中，Acona 关注主体粒径分布之外的低丰度大颗粒，支持大颗粒计数（LPC）分析。针对高浓度原液与低浓度滤液的不同检测需求，可配置相应的稀释与进样方案，帮助用户比较不同批次、不同过滤条件下的颗粒变化，并进一步观察各粒径段的过滤表现。

光刻胶：补充较大颗粒的数量与分布信息

针对光刻胶等高粘度材料，Acona 提供 ≥0.5 μm 范围的颗粒检测方案，用于关注较大颗粒的数量与分布，为材料研发、质量控制及过滤评价提供补充数据。

LE mini：从实验室分析延伸至在线监测

面向生产过程监控，LE mini 展示了在线颗粒检测的应用方式：通过管道支路取样，可根据现场条件采用泵取样或压力系统取样，并依据样品浓度与检测目标配置方案。配套软件支持颗粒趋势显示、阈值设置与超限报警，同时提供 API 接口，便于与客户现有系统集成，将颗粒检测数据用于持续监控和异常追踪。

此次湾芯展为光起科技展示半导体液体颗粒检测方案、对接行业应用需求提供了交流平台。围绕不同材料、浓度范围及现场取样条件，光起科技将持续完善产品配置与应用方法，为客户提供更贴近实际工况的检测支持。

感谢各位客户与行业伙伴对光起科技的关注与支持。展会结束，交流继续。欢迎就 CMP 浆料、光刻胶、过滤评价及在线颗粒监测等需求与我们联系，共同探讨适合实际样品与工艺条件的检测方案。