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滤液中 >0.5 μm 颗粒更少,滤芯就选它?
两组 CMP 浆料过滤数据表明:不同粒径阈值可能给出不同的滤芯排序,过滤前后的降幅也因阈值而异。结合工艺需求选择阈值,并用 Acona 系列衔接高、低浓度样品的颗粒检测。
넶39 2026-09-18 -
新滤芯上机前:冲洗液里的颗粒,你测过吗?
新滤芯预冲洗后,出液中还有多少颗粒?本文介绍冲洗液颗粒检测在冲洗方案验证、滤器批次比较和异常排查中的应用,说明取样条件、结果判断要点及Acona SIS的检测用途。
넶57 2026-09-16
